“你准备用这种粒子加速器产生的同步辐射光源来制造光刻机系统？”
杨宗德张大了嘴。
在听到张君正这个技术概念后，杨宗德一时间处于一种深深的震撼当中。
“这种极紫外光光源系统理论样机得到验证后，我们会利用这套光源系统用来设计研发相关的镜头组和光刻胶产品技术，另外还会用来对低纬度量子材料进行研发，利用这种这种可调谐的超短脉冲光源来获得各种材料中电子的能量材料中电子能量、动量、时间多维度分辨信息，打造出这种介于宏观和微观物体之间的全新量子探测工具，在这个基础上设计开发出更多的新型量子材料来。”
张君正开口说道。
“张董，你们要设计构思的这个光源系统技术难度可是世界级的，国外这些高端仪器设备企业未必都能给你们提供这些部件系统……”
张君正笑了笑，“这个情况我当然是清楚的，要不然我也不会让我们公司的技术研发团队拼命地研制这些超高精密加工设备和检测设备了。”
说到这里，张君正顿了顿后继续说道：“现在我们研制出了这种磁流变抛光装置还不行，还得设计研制更高加工精度的离子束抛光设备，要能达到几十皮米级别的加工精度才能满足这种极紫外光光刻机设备物镜系统的设计要求。”
“……”
刘传东此时瞪大眼睛看着张君正，“张董，你们为什么硬要自己研制如此高精度的加工设备呢？难道不能利用国外现有的产品技术吗？”
张君正看了刘传东一眼，“这些超高精密加工设备国外企业如果没有亚米利加国方面的同意谁敢卖给我们？”
“别说这种磁流变抛光装置了，之前我们自己没有研制出微米级别的五轴联动数控机床设备出来之前，这些国外设备企业连五微米级别的高端数控机床设备都不卖给我们，到现在这些企业才开始向我们国内提供这种两微米级别加工精度的设备。”
张君正看着刘传东说道：“如果自己手上没有什么核心技术，这些国外企业也不会拿出自己的核心技术和我们合作的。”
他看着刘传东说道：“刘董，是不是这个道理？”
“张董说的在理。”
刘传东一脸尴尬地说道，不过心里却是对张君正公司内部这些科研团队竟然想设计研发一种他听都没听过的极紫外光源系统和光刻机镜头组系统充满了怀疑。
听说这种光刻机设备是亚米利加国和欧巴罗众多技术企业一起进行研制出来的，就凭你这么一家公司和国内这些研究所就能搞出来，简直是做梦！
你就使劲完往这种无底洞里面砸钱吧，我倒要看看你能在光刻机这种设备技术领域折腾多久，最好是把自己公司折腾倒闭了最好！
一想到这里，刘传东嘴角露出一抹冷笑来！
相比于刘传东，这次过来的杨宗德此时却是显得颇为兴奋，他没想到张君正的公司此时竟然已经研制出了如此先进的磁流变抛光装置！
“这套设备你们有没有想过用在晶圆抛光平坦化工艺技术上？”
杨宗德指着这套磁流变抛光装置对张君正问道。
“我们确实有这方面的想法。”
张君正笑着说道：“我们的邱总认为用这种超精密磁流变抛光装置用来给晶圆抛光比化学抛光设备更有技术优势。”
说着，他看了一边的邱梦生一眼。
“是这样的。”
邱梦生此时兴奋地对杨宗德说道：“现阶段用来给晶圆平坦化抛光的化学抛光设备使用的化学抛光液非常复杂，所以晶圆清洗工艺也相当复杂，中间很容易造成晶圆的污染，也会造成晶圆亚表面损伤的情况。”
“目前我们在为这套磁流变抛光装置设计开发一种抛光力分布控制算法模型方面的研究课题，主要是要搞清楚抛光液和抛光轮对晶圆加工时形成正面压力和剪切力分布的具体情况。”
邱梦生开口说道：“把这些东西搞清楚了之后我们就会在晶圆生产线上导入这种设备和工艺流程。”
“邱总，你是世界顶尖的芯片制造科学家，你对张董设计构思的这种新型极紫外光光源系统是怎么看的？”
杨宗德此时开口问道。
“我认为这是一种前所未有的巨大技术创新。”
邱梦生一脸认真地说道：“这么一套大型光源系统装置研制成功后从装置当中导出数十条高品质的稳态微聚束光源，通过去相干和调谐处理后完全可以给光刻设备里面的晶圆提供百瓦级的曝光光源，到时候大不了给这些光刻机设备设计建造一个专用的工厂车间，整座晶圆工厂生产线厂房设施设计跟传统的晶圆生产线不一样而已。”
说到这里，他看了张君正一眼，继续说道：“张董的意思是利用这种粒子加速器装置为晶圆厂里面的众多光刻设备提供光源系统外还要为高能离子注入设备提供高能离子束用来加工制造芯片器件，我本人认为这是一种绝妙无伦的技术概念。”
“这种技术概念做出来后绝对会改写全球半导体产业的局面，会彻底让我们摆脱亚米利加国官府和这些国外半导体设备企业对我们国内的半导体产业的技术掣肘，那时候我们就可以进入半导体技术领域的自由王国了。”
邱梦生一脸郑重地说道。
“……”
杨宗德此时沉默了好几秒后才对张君正说道：“张董，你的这种技术概念应该早一点跟我说的，我们科学院方面可以跟你们一起来推动你的这种技术概念。”
张君正笑了笑说道：“杨院长，目前我们这边还是处于技术概念状态，等唐思德教授带领技术团队将这个技术概念变成理论样机系统造出来验证了这种理论模型后到时候科学院再参与进来也不迟。”
他提出来的这种技术概念关系着君正科技公司在半导体产业上几十年的战略发展技术发展方向，现阶段只是处于技术概念状态，他提出来肯定会遭到各种质疑，到时候就连科学院内部的这些科学家也未必所有人都会认可。
与其浪费口舌和时间，张君正让君正科技公司内部已经为这个技术概念准备了差不多十多亿的预研经费，等到理论样机出来后验证了这种技术概念后，到时候公司再往这里面投入更多资源将工程样机造出来进行各种测试。