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第839章 最后的战役(二)

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沪市,张江技术园区。

中微半导体总部的四周,布置了密密麻麻的电网和监控器,安保力量更是配备齐全。

一座不起眼的工厂里,沙领导、郑韩等一众领导,在陆飞的带领下,来到车间外。

隔着玻璃窗,就能看到一个巨型公交车大小的光刻机,身穿防尘服的工作人员正在操控这样的庞然大物,一个工作台完成扫描曝光的同时,另一个工作台也进行对准、调焦、下片等行动。

“因为芯片制造的过程中,并不是一次曝光就可以完成,而是需要经历多次曝光。”

“在曝光完一个区域之后,放置硅晶圆的曝光台就必须快速进行移动,接着曝光下一个需要曝光的区域,想要在这么多次快速移动中实现纳米级别的对准,双工作台就必须做到精度高而且操作时间短,这项技术本来只有ASmL有,但现在已经被我们突破了。”

陆飞滔滔不绝,如数家珍。

领导们一言不发,目不转睛地盯着运行中的光刻机,虽然不是第一次见到光刻机,但一想到这是第一台国产的dUV浸润式光刻机,都压不住激动的心情,尽可能地往前靠,想凑得更一些,看得更清楚一些。

“了不起啊,小陆,你们了不起啊。”

沙领导满意道:“我记得是7年前还是8年前,也是在这里,你让我看的是65nm干式光刻机,还向我保证绝对能搞出属于我们自己的国产的浸润式光刻机,我本来以为要花10年甚至更长的时间,没想到你给了我们一个大大的惊喜啊!这么快让你们搞出来了!”

“哪里,哪里,领导。”

陆飞露出谦虚而内敛的笑容。

“说说吧,到底是怎么搞出来的?”

沙领导眼里满是赞赏之色。

“其实这并不是逻辑和中微两家的功劳,我们只负责整体的统筹调度和集成研发。”

陆飞笑道:“dUV浸润式光刻机能成功,完完全全归功于参与到整个项目的全体员工、科研人员们,是他们的血汗和信念,才有了今天的光刻机,当然也离不开领导们的支持,地方上的政策,还有相关公司、院校、国企单位的合作。”

顿了顿,“可以说,这台dUV浸润式光刻机凝结了华夏半导体从业人员的智慧和野心,也代表着目前国内光刻机的最高水平,距离国际一线的EUV光刻机,只有一代的代差了。”

“生产7nm的良品率是多少?”

郑韩脸上挂着得意的笑容。

毕竟,如此国之重器出自张江技术园区,沪市毫无疑问当得上“华夏半导体之都”。

“不同的芯片不同的良率,但基本能稳定在70%,慢慢调试改进,可以达到80%。”

陆飞比比画画道:“完全可以比肩AmSL,只用4个光罩、4次曝光,就可以达到7nm制程工艺。”

沙领导问道:“现在逻辑和华为的手机用的都是7nm制程工艺的芯片对吗?”

陆飞点了下头,“没错,7nm是目前市面上最先进的制程工艺,不过根据摩尔定律,再过个一两年,就可能突破到5nm。”

“5nm是不是就需要EUV光刻机了?”

郑韩好奇道。

“有EUV光刻机固然是好,只要一次曝光,一个光罩就能实现7nm、5nm,但没有EUV光刻机也无妨,有这台dUV浸润式光刻机也可以做到。”

陆飞露出个看似轻松的笑容。

“喔?”

顷刻间,一众领导的目光齐聚于他。

“梁博士想到的方案,如果把光刻机极限使用,经过6个光罩,9次曝光,也可以实现5nm工艺。”陆飞直截了当地回答。

一个戴着玳瑁眼镜的领导担忧道:“光刻机这么极限使用,会不会影响到使用寿命?”

“还有良率。”

“是啊,经过这么多道曝光,任何一道工序失败,都可能满盘皆输,成本就上来了……”

领导们来回分析,议论纷纷。

陆飞只能一一回答,“损害寿命肯定会损害,良率低也肯定会低一些,成本自然也就会高一点,但这是没有办法的办法,目前EUV光刻机国产化要实现彻底突破,还有不少技术难题摆在面前,需要时间去攻破。”

“比如呢?”

沙领导投去问询的目光。

“光刻机的技术难点主要集中在光源、反射镜、工作台,现在双工作台已经解决了,光源问题也突破了,就剩下物镜系统。”

陆飞直说道:“AmSL、尼康的光刻机用的是蔡司的技术,但蔡司愿意卖给AmSL、尼康,但绝对不会出口给我们。”

然后叹了口气,“没办法,我们只能从零开始,联合长春光机、徕卡、华为等联合研发,现在搞定了dUV浸润式的物镜系统,至于EUV的,恐怕需要很长一段时间。”

“那这期间,复芯、中芯的晶圆代工,有没有可能会被台积电、英特尔的差距拉大?”

郑韩皱了皱眉。

“肯定会,但好在情况并不糟糕。”

陆飞笑道:“虽然5nm是目前我们的极限,理论上而言,台积电、英特尔、三星这些有EUV光刻机的,制程工艺甚至可以冲击到1nm,但得到的回报并不会太高。”

不少领导感到奇怪,“为什么这么说?制程工艺难道不是越先进越好嘛?”

“理论上是这样,但事实是现在全球智能机领域已经有‘性能过剩’的趋势,搭载5nm芯片的手机体验,未必就不如3nm,就会让3nm及以下工艺陷入一种尴尬的地步,飙升的成本却只得到微弱的性能提升。”

陆飞嘿然一笑,“反倒是28nm、14nm和7nm这三个节点的工艺才是市场主流,特别是我们国内绝大部份的芯片需求,所以有了国产的dUV浸润式光刻机,基本可以保证我们不会也不怕被卡脖子,也能保证支撑到我们研发出EUV光刻机的那一天。”

众人两两相望,相视一笑。

确实,28nm是集成电路产能中划分中低端跟中高端的分界线。

除了对功耗要求比较高的 cpU、GpU、AI芯片外,其余的工业级芯片用的都是28nm以上的技术,比如电视、空调、汽车、高铁、火箭、卫星、工业机器人、电梯、医疗设备、智能手环、无人机……

但现在,7nm,甚至不计任何代价,极限可以推到5nm,简直是绰绰有余。

“你们在资金上、政策上、人才上,或者在其他方面,有没有什么需要我们解决的?”

沙领导慈眉善目。

陆飞也不客气,立马张口。

一个敢提,一个敢接。

“我还有个提议,希望领导们能支持。”

“说。”

“是这样,逻辑这些年一直跟水木大学开展了比较另类的秘密项目,那就是研究直接跳过光刻机,建立光刻厂和光刻车间。”

“光刻厂和光刻车间?!”

沙领导、郑韩等人或多或少感到惊讶。

“对,安装和调试一台dUv光刻机需要至少一年的时间。”陆飞一本正经说,“而如果直接造光刻厂,把光刻机的整个供应链连接起来,就可以摆脱以往单台光刻机的生产模式,转为流水线生产,根据不同的精度需求,大规模生产各类精度的光刻机,就能把光刻机,甚至芯片价格打下去,你们觉得怎么样?”

“嘶~”

现场技术领域的领导立刻窃窃私语起来。

“多条路,就多种选择,大胆去试,放手去干,我们永远是你们的坚实后盾。”

沙领导拍了下陆飞的肩膀。

“是,领导!”

陆飞语气里夹着一丝兴奋。

“《科技日报》最近总结了35项制约我们制造工业的卡脖子技术,不知道你有没有看到?”沙领导往工厂外走去。

“看了。”陆飞立刻跟上。

“有什么感想?”沙领导追问。

“看上去是35项,但实际情况并不对,有很多项目已经被逻辑攻克了,比如航空设计软件、EdA设计软件、触觉传感器……”

陆飞如实说:“有的正在被攻克,像激光雷达,我们就在为未来的智能驾驶系统量身定制商用级的激光雷达。”

“我知道你和逻辑这些年明里暗里已经做了很多,但这些都不是关键。”沙领导语气认真道,“芯片才是重中之重,毕竟电动汽车、人工智能这些个领域,都离不开芯片。”

“如果真地卡脖子,也许暂时会是华夏半导体产业的黑暗,但长远老看,何尝不是我们国产半导体崛起的机会?”

陆飞不以为然。

想彻底围堵华夏芯片的发展,但是却给了国产一个机会,当“国产替代”形成了风潮,华夏半导体就会爆发巨大的潜能。

逻辑多年的布局,就能迎来真正的风口!

从光源系统到物镜系统,从浸没系统到双工作台研发,从光刻胶到光掩模版,从光刻机缺陷检测设备到涂胶显影设备,不管是核心组件,还是配套设施,国产的都将慢慢起飞。

“说得好。”

沙领导笑道:“对了,你刚刚说安装调试光刻机需要一年,那么再加上制造,岂不是一台光刻机到真正投产,时间会超过一年?”

陆飞点了下头,“对,所以我们现在加班加点地赶制,争取对逻辑和华为动手之前,能多造几台就多造几台。”

郑韩问道:“如果现在逻辑和华为就出现中兴断供的局面,你们又该怎么办呢?”

“即使高通和其他供应商不向我们出售芯片,我们也不怕,逻辑早就预料到会有这么一天,已经提前做好了备胎计划。”

“备胎计划?”

…………

旧金山,黄金豪宅。

“妈妈,为什么爸爸这么久都没有来看我们?”混血的陆洋躺在床上,眨了眨眼睛。

“他很快就会来看我们的。”

伊凡卡一把拉上窗帘,走到床沿坐下,捧着儿子的额头亲吻了一口,“睡吧。”

“晚安,妈妈。”

“晚安。”

看到他合上眼,伊凡卡关掉床头灯,轻手轻脚地退出卧室,笑容立刻消失。

就在此时,手机里收到了短信。

一下子,直奔书房,里面的装修没有变化,依旧保持了陆飞当初的设计,来到电脑前,就见《华盛顿邮报》、《纽约时报》等多家媒体已经报道了对逻辑和华为的制裁——

逻辑和华为正式加入到清单!

美利坚供应商集体断供!

“终于来了!”

伊凡卡兴奋不已,虽然自己知道陆飞绝对不会轻易地求饶,也不会像中兴那么容易对付,但又如何?无非是抵抗的时间长点而已!

早晚,都得像中兴一样,乖乖来美。

一念至此,她拉开最下方的抽屉,暗格里藏着一把钥匙,余光瞄了眼角落不起眼的小房间,推门而入,打开灯光,一道道暧昧的粉色和妖娆的紫色交织在一起,照亮四周。

墙壁上挂着许多玩具和cosplay服装,该死的记忆立刻涌现而出。

伊凡卡又想起了在这里的点点滴滴,随手取出一根散鞭,对着空气狠狠地挥舞了两下。

顿时间,一声声破空声乍响!

紧接着,鞭子落在绑在十字架上的布偶身上,就见脸部贴了张“陆飞”的肖像照片。

“啪啪啪!”

“为什么不来美利坚!”

“难道我这个第一女儿,下嫁你个世界首富吃亏了吗?我们两个的结合,明明对谁都有利,甚至有希望成为old money的一员!”

“陆,你个混蛋!”

“为什么你在美利坚,只留下这么点不动产给我和孩子,就连勇士队的股份也舍不得给我?!”

伊凡卡像怨妇一样,不断狂舞着鞭子,仿佛眼前的“陆飞”布偶就是活的一样,宣泄心中的不满,特别当她想到陆飞持有的奈飞、苹果、亚马逊、特斯拉等美股竟然没她的份。

而且也没有她孩子的份!

但显然完全忘了陆飞留给她的传媒集团,可是囊括了电视台、报纸、电影、流媒体、漫画、主题公园和度假村、周边衍生品……

更别提,脸书、推特、Spacex的股份。

“等你来美利坚,有你好看的!”

“以前在这里怎么对我,我就怎么对你!”伊凡卡气喘吁吁,打得满脸是汗。

尽兴之后,才重新封闭小黑屋。

“呼~”

伊凡卡把钥匙放回暗格里,正准备关闭电脑,就见推特上带着“逻辑”字样的冲上热搜。

赫然是逻辑官宣,备胎计划,启动!

“备胎”一夜之间全部“转正”!

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